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產(chǎn)品詳情
氮分子激光器
產(chǎn)品參數(shù)：

參數(shù)

 NPL-3

 LGI-505

 LGI-511

波長, μm

 0.337

 0.337

 0.337

脈沖能量, μJ

 30

 120

 240 

平均功率, mW

 3

 120

 240 

光束直徑, mm

 2

 5

 5

脈沖重復(fù)頻率:

 1-100

 5-1000

 1 -1000 

脈沖寬度, ns

 5±1

 8 ±2

 8 ±2

尺寸, mm

 350x325x150

 484x510x215

 1140x525x345

重量, kg

 10

 35

 105

電壓, V

 220

 220

 220

功率消耗, w

 50

 1200

 1500

制冷方式

風(fēng)冷

水冷

水冷

工作溫度, OC

 0...+40

 0...+40

 +10...+40

質(zhì)保工作時(shí)間, h

 500

 1000

 500

產(chǎn)品簡介：

氮分子激光器的發(fā)射帶在UV波段，主要是337.1nm 、357.7 nm、315.9 nm。
PLASMA 擁有橫向和縱向激勵(lì)的脈沖氮分子激光器，由于其獨(dú)特的性能（波長337nm、脈沖寬度小于10ns、平均功率0.01-1W），被廣泛應(yīng)用于微電子領(lǐng)域如 光掩模、復(fù)雜的集成電路、薄膜電阻的生產(chǎn)、處理。由于其短波長更易聚焦得到小光斑，因此被用于加工亞微米量級(jí)的元件。此外，還被用于多種感光材料的高效曝 光光源。

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