衍射光柵--自校準(zhǔn)光柵
LightSmyth光柵設(shè)計(jì)新概念:光柵設(shè)計(jì)集成校準(zhǔn)功能。這些光柵的用戶將享受同樣高性能和低成本低散射反射光柵,可進(jìn)行波長(zhǎng)校準(zhǔn),提供薄的嵌入式微光柵陣列所提供的附加優(yōu)勢(shì),圖1所示光柵的示意圖。在傳統(tǒng)的方式中使用的母光柵,但12個(gè)對(duì)準(zhǔn)/校準(zhǔn)光柵照射時(shí)由一個(gè)氦氖激光器或其他參考在檢測(cè)平面上提供一種校準(zhǔn)標(biāo)記系列,這些標(biāo)記允許高精度和方便地校準(zhǔn)的母光柵色散線。如http://www.lightsmyth.com/downloads/product_info/CalArrays.pdf所述的應(yīng)用說(shuō)明中,標(biāo)記也允許輸入信號(hào)波陣面的精確監(jiān)測(cè)和適當(dāng)?shù)臋z測(cè)平面的焦點(diǎn)。值得注意的是,標(biāo)記所指示的母光柵的波長(zhǎng)與輸入光入射角無(wú)關(guān)。從本質(zhì)上講,一個(gè)校準(zhǔn)的母光柵的輸出平面通過初級(jí)差分比較和對(duì)準(zhǔn)/校準(zhǔn)光柵的線密度的比率。
在這個(gè)產(chǎn)品中,母光柵和校準(zhǔn)/校準(zhǔn)光柵(即定位精度和干涉彼此相對(duì))空間相干,是單體結(jié)構(gòu)的一部分。該產(chǎn)品配備了兩個(gè)版本。第一個(gè),所有光柵的線是平行的,標(biāo)記輸出信號(hào)的下降沿主光柵的色散線。在第二種方法中,線的對(duì)準(zhǔn)/校準(zhǔn)光柵有傾斜精確計(jì)算提供NeHe的產(chǎn)生標(biāo)記,沿著一條線輕偏離,但平行于母光柵色散線。可以采用替代參考光源及在這種情況下,校準(zhǔn)標(biāo)記還可以精確地與特定母光柵輸出波長(zhǎng),與輸入角度無(wú)關(guān)。標(biāo)記物漂移的母光柵參照波長(zhǎng)(如表1中給出)與632.8 nm的新參照波長(zhǎng)的比率成比例。
表Ⅰ中的詳細(xì)信息的屬性的傾斜和非傾斜的版本的產(chǎn)品。一英寸的光柵包含的全套12對(duì)準(zhǔn)/校準(zhǔn)光柵。半英寸光柵包含6的一個(gè)子集。對(duì)準(zhǔn)/校準(zhǔn)光柵的設(shè)計(jì),使6光柵的子集提供了一組有用的標(biāo)記。對(duì)于表1中,信號(hào)光入射在30度從正常的同一側(cè)上作為輸出。不改變標(biāo)記物的波長(zhǎng)的情況下,也可以采用其他輸入角度。
Table I | ||||
Grating |
First-order Marker wavelength* (nm) |
Lines/mm (non-tilted) |
Lines/mm (tilted) |
Tilt angle (deg) |
Primary |
na |
1200 |
1200 |
0 |
1 |
400 |
758.6 |
760.6 |
4.158 |
2 |
500 |
948.2 |
949.8 |
3.329 |
3 |
600 |
1137.7 |
1139.1 |
2.775 |
4 |
700 |
1327.4 |
1328.6 |
2.379 |
5 |
800 |
1517.2 |
1518.2 |
2.082 |
6 |
900 |
1706.7 |
1707.6 |
1.851 |
7 |
500 |
948.2 |
949.8 |
3.329 |
8 |
550 |
1043.0 |
1044.4 |
3.025 |
9 |
600 |
1137.7 |
1139.1 |
2.775 |
10 |
650 |
1232.6 |
1233.9 |
2.560 |
11 |
700 |
1327.4 |
1328.6 |
2.379 |
12 |
750 |
1422.2 |
1423.3 |
2.219 |
* First-order marker wavelength is the wavelength of light diffracted from the primary grating which falls at the same output angle as the HeNe marker signal from the referenced alignment/calibration grating. Note that alignment/calibration gratings produce additional HeNe markers at higher orders and that the marker wavelength is simply multiplied by the order number. |
◆ 典型光柵厚度約為0.73毫米。
◆ 基板高度和寬度的公差為0.3mm。
◆ 光柵基片:?jiǎn)尉Ч琛?/span>
◆ 光柵鍍膜:鋁(其他鍍膜類型可選)。
Primary Grating Line Density (lines/mm) |
alignment/calibration gratings |
orientation |
Size |
Part number |
1200 |
1-6 or 7-12 |
Non-tilt |
12.5 mm × 12.5 mm |
CNG-C12-1212A-Al |
1200 |
1-12 |
Non-tilt |
25 mm × 25 mm |
CNG-C12-2525A-Al |
1200 |
1-6 or 7-12 |
Tilt |
12.5 mm × 12.5 mm |
CTG-C12-1212A-Al |
1200 |
1-12 |
Tilt |
25 mm × 25 mm |
CTG-C12-2525A-Al |
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