■ 基于laser-driven光源技術上認可技術——高的性能和穩定性
■ 單光源范圍:200nm到800nm
■ 避免使用多種光源——傳統的氘、鎢、氙氣光源
■ 長使用壽命——5000hrs,低成本
■ 長校準間隔——相對于D2 /鎢/氙氣光源,低漂移,使用成本低
■ 可追蹤的校準——校準由合作方執行,基于NPL
■ 溫度穩定的外殼——高穩定性測量
LDLS EQ-99CAL
Broadband, High Brightness Calibration Source
◆ 輸出光譜:190nm - 2100nm
◆ 使用壽命:>9000hrs
◆ 寬帶光輸出通過FC連接器,NA=0.22
◆ DUV-Vis和寬帶光纖可兼容
◆ 燈外殼:82.3 x 85.7 x 76.2 mm (3.2 x 3.4 x 3.0 in) 0.7 kg (1.5 lbs)
◆ 電源:107 x 111 x 254 mm (4.2 x 4.4 x 10 in) (excl feet) 1.4kg (3 lbs)
◆ 供電:100-240v, 50/60Hz, 2.5A
◆ 冷卻:環境空氣,沒有必要輔助冷卻
◆ 氮氣:Recommended purging for longest life & for DUV operation, Grade 6
◆ 合規:CE Mark, Class 1 Laser Product
傳統輻射校準的校準光源在光譜范圍上都有局限性,比如氘、石英鹵鎢、氙弧。沒有一個光 源包含完整的從200nm到800nm的紫外可見光譜。此外,傳統的光源需要在使用100小時之后再次校準,而且需要再使用500小時之后更換光源。通過 革命性的Laser-Driven Light SourceTM (LDLS)技術上認可技術,Energetiq的校準方案擺脫了這些限制,它為輻射校準提供了具有寬光譜范圍、高亮度的單個光源。EQ-99CAL結合了輻射 性能好,壽命長,校準時間間隔長,低擁有成本等特點。在350nm范圍進行校準,對于氘和石英鹵鎢燈是非常具有挑戰性的。比如說氘燈,在350nm的輻照 度比在深紫外 200nm的輻照度低一個量級。同樣,同樣,石英鹵鎢燈在350 nm的輻照度比在可見光范圍的輻照度要低多于一個量級。此外,它常見的問題就是有兩個分離的波長校準光源,增加了額外的不確定性。使用LDLS,一個單一 的光源包含了從200nm到800nm的整個波長范圍,并且在350nm處的輻照度比傳統的光源氘和石英鹵鎢燈,要高一個數量級。
Energetiq的EQ-99CAL產品已經通過Bentham Instruments, Ltd的校準。Bentham的校準標準來自國家物理實驗室(英國)。校準證書包含每臺EQ-99CAL的校準數據和不確定性分析,可以按照客戶要求提供樣品校準報告。
■ 光源光譜輻射測量
■ 光譜靈敏度測量傳感器、探測器、相機
■ 質量控制
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